2026年10月12日至16日，第二十六届中国国际工业博览会集成电路展(国芯展)在上海国家会展中心重磅启幕。中科飞测携飞测思凯浦(上海)半导体科技有限公司(简称“飞测思凯浦”)精彩亮相，此次亮相不仅是企业发展的全新里程碑，更是中科飞测深耕上海、布局华东、领跑国内高端半导体量检测赛道的标志性一步。

中科飞测以上海为华东核心战略高地，深度扎根长三角集成电路产业集群，全面发力先进制程高端半导体量检测设备市场，加速填补国内高端量检测设备技术与产业化空白，为国内集成电路产业链自主可控注入强劲动能。

    依托中科飞测十余年自主研发积淀与技术深耕，本次展会企业携全系列高端半导体质量控制设备重磅参展，集中展示中科飞测在光学、电子束、X光三大核心技术路线的完整布局与产业化成果。作为国内极少数实现三大技术路线全覆盖、多产品规模化量产的半导体量检测龙头企业，中科飞测以自主创新为驱动，多项核心技术取得重要突破，产品性能保持行业领先，可全方位适配逻辑、存储、特色工艺、先进封装、大硅片与制程设备等多场景质量控制需求。

未来可期｜聚焦新起点，共筑集成电路产业链新生态

作为国家级工业展会的核心标杆展区，本届工博会国芯展聚焦集成电路“设计、制造、封测、设备、材料”全产业链，聚力推动核心技术突破与自主创新落地。

未来，中科飞测将依托上海张江产业、人才、区位核心优势，持续深耕高端半导体量检测核心技术，深化产业链上下游协同对接、技术交流与生态合作，加速推动国内高端量检测设备规模化落地应用，助力国内集成电路产业实现高质量、自主化、高端化发展。

在此次工博会国芯展上，中科飞测明场纳米图形晶圆缺陷检测设备凭借突出的技术突破性与产业价值，荣获首届“CIIF国芯展创新成果奖”。本届“国芯展”创新成果奖由院士专家组与行业龙头企业技术总工组成联合评审团，围绕技术原创性、产业引领性、自主可控水平、量产落地价值四大维度严格遴选，是当前半导体领域含金量极高的行业创新荣誉。

明场纳米图形晶圆缺陷检测设备是中科飞测自主研发的宽谱段明场检测设备，采用深紫外宽谱段大视场光学系统，超高速TDI探测技术和高灵敏度自动阈值算法等关键技术，经过长期测试和多轮优化，设备的极限灵敏度和WPH等关键性能指标及长期运行稳定性表现优秀。

中科飞测将持续加大研发投入，推动国内高端量检测设备覆盖更多制程节点，并在更多晶圆厂实现规模化验证和量产落地，助力国内半导体检测设备迈向更高自主可控水平，为产业链高质量发展贡献更大力量。